SJT 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法
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ID： |
D66F883DC7E0481EAB345F10065EEB85 |
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文件大小(MB)： |
0.25 |
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页数： |
5 |
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日期： |
2024-7-28 |
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L90 SJ,中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 10627-1995,通过测量间隙氧含量的减少表征,硅片氧沉淀特性的方法,Test methods for oxygen precipitation characterization of silicon,wafers by measurement of interstitial oxygen reduction,1995-04-22 发布1995J0-0I 实施,中华人民共和国电子工业部发布,中华人民共和国电子行业标准,通过测量间隙氧含量的减少表征,硅片氧沉淀特性的方法,SJ/T 10627-1995,Test methods for oxygen precipitation characterization of silicon,wafers by measurement of interstitial oxygen reduction,1主题内容与适用范围,1.I 主题内容,本标准规定了通过测定热退火前后硅片中间隙氧含量的减少来表征氧沉淀特性的方法,1.2 适用范围,本标准适用于空温电阻率大于0. IQ. em的N型或P型直拉硅晶片,其热循环可为单ー,温度或双温度,2引用标准,GB/T 1557 硅单晶中间隙氧含量的红外吸收测量方法,GB/T 14143 300- 900f（m硅片间隙氧含星的红外吸收测量方法,3方法原理概要,本方法是用红外光谱仪测定硅晶片中间鼠氧含量在退火前后的减少来确定氧的沉淀特,性。氧的沉淀与硅片退火前后间随氧含量的减少具有对应关系,4方法原理概要,付里叶变换红外光谱仪或光栅式红外分光光度计,波数为lQ00cm-i处,分辨率优于,4cm%,b.热退火炉:温度范围750-- 1Q50C ,控温精度+ 2匸;,c,合适的石英管、石英舟:,d,气管和迸样装置,5试验样品的选择和准备,5.1 选择一组晶片作试验,这组晶片中包括氧浓度整个范围。在问陳氧含量（「0］）0.5ppma,间隔范围内,至少选择两个晶片。例如,如果ー组［0］范围是3Ppma,则这组至少选择12个晶,片n,中华人民共和国电子工业部199554-22发布 !995-10-01实施,SJ/T 10627-1995,5.2 试验样品应满足GB 1557或GB/T 14143的要求,5.3 用激光或手刻标记以区别每一试验样,6测量歩骤,6,1根据样品厚度按GB 1557或GB/T14143测量原始样品的间隙氧。记录氧的数值、晶片,记号、测量位置、试验日期和测量仪器,6.2 硅片清洗后,应尽可能快的进行试验。如果清洗和试验期间需将样品存放,需放在干净,闭封的箱子里,6.3 硅片中氧沉淀的热处理实验按表1进行,表!硅片中氧沉淀的热处理实验,实验A 1050管,16h,实验B 1。5。七」51I后,750七,411,炉内气氛效+ 5%干氧,气体流量442 + 0,2L/min,样品推/拉速度25 cm/ min,升温速度10t / min,降温速度5 匕/min,注;实验A为沉淀步骤,实验B为沉淀后成该步骤,6.4 将样品放迸石英舟,应小心避免样品连在ー起,用ー干净的非金属真空装置托起样品以,避免擦坏和污染表亂 ..,6.5 打开工作管的入口处,将石英舟放进去,用推/拉杆以规定的速度（见表1）将舟推到加热,区,6.6 选择循环实验A或循环实验B进行热处理（见表1）,记录热处理数据和所用周期,6.7 样品热处理后用氢氟酸去除震面氧化层并清洗晶片ー,6.8 在热处理前晶片的［0］的每个测量点上,测量热处理后的［0］,并使用和原始测量所用的,仪器和装置,在记录原始数据的表格上记录最后［0］的数据（见表2）,表2记录氧含量的表格（ppma）,晶片标记原始氧［Oj 最后氧［0］ 氧减少91 平均原始氧A 标准偏差A 平均氧减少人,2,SJ/T 10627-1995,续表2,晶片标记原始氧［0］ 最后氧［0］ 氧减少［0］ 平均原始氧A 标准偏差A 平均氧减少人,平均11,标准偏差丒s,注:ん仅适用于方法2产仅适用于方法に,7计算和结果说明,7.1 从原始间隙氧含量减去［0］最后值,以确定氧的减少并记录氧的减少量,7.2 采纳方法1和方法2的条件说明如下:,7.2.1 方法1,7.2.1.1 当所希望的预定［0］已知,且每ー组试験样品有相同的预定［〇］及每ー试验组［0］,的范围小于4ppma时使用这种方法,7.2.1.2 如果不同试验组间的平均［〇;差大于0.5ppmn时,则不能使用这种方法,721.3决定每ー组试脸样品原始⑹和氧减少的平均值和标准偏差,九2.1.4如果这组试验样品平均氣减少在所希望的范围内,认为这组数值是相等的,7.2,2方法2,7.2.2.1 为了获得:(1)所实验样品的沉淀特性的定性观察;(2)氧沉淀曲线的重要特点,需要,将氧含量和沉淀特性区分时,使用这种方法,7.2.2.2 对毎ー组样品将氧减少数据分类，将有0.5ppma间隔内［。］的所有样品分在ー起,7.2.2.3 对每ー组,每一分类中的平均原始［0］和氧减少进行计算,7.2,2,4 对每ー组试验样品画出平均氧减少——平均原始［0］的曲线,用不同符号区别每ー,组数据,见图1和图2这些曲线的实例,(一MU^0,二,QW,——3 一,SJ/T 10627-1995,エ0 〕y,白,° --■—— - ---- -—1 ［0］pftm&,图2实验B氧沉淀特性曲线,7.2.2.5 注意曲线有三个特征区域,如图1和图2不同的斜率变化所示。在低原始［0］区,氧减少基本不变;在原始［0］的某些值……
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